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如何定義探針臺？探針臺的工作原理是什么？
2024-07-09 10:01
探針臺是一種在半導(dǎo)體研發(fā)和制造過程中，用于檢測晶圓和電子元件電氣特性的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于芯片、材料領(lǐng)域研發(fā)和檢測復(fù)雜高速器件的精密電氣測量，旨在保證質(zhì)量和可靠性，降低研發(fā)時間和器件制造工藝的成本，多用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路和封裝測試行業(yè)。
探針臺的工作原理是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，通過將探針與被測元件的引腳接觸，使元件與測試儀表連接，將測試信號從儀表發(fā)送到被測晶圓上的各個器件，并獲取各個器件的信號反饋，通過收集這些信號來測試芯片的各種電氣特性，比如IV、CV、RF等。
探針臺的主要組成部分包括探針臺臺體、顯微鏡光學(xué)顯示系統(tǒng)、探針夾具測試組件三部分，各組成部分根據(jù)測試要求選擇不同的配置。總的來說，探針臺在半導(dǎo)體制造和研發(fā)領(lǐng)域扮演著重要的角色，其精度和性能對半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量有著直接的影響。
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